X射線熒光光譜法-----原級X射線發(fā)射光譜法
首先，與原級X射線發(fā)射光譜法比,不存在連續(xù)X射線光譜，以散射線為主構成的本底強度小,譜峰與本底的對比度和分析靈敏度顯著提高，操作簡便，適合于多種類型的固態(tài)和液態(tài)物質的測定，并易于實現分析過程的自動化。樣品在激發(fā)過程中不受破壞，強度測量的再現性好，以及便于進行無損分析等。其次，與原子發(fā)射光譜法相比,除輕元素外，特征（標識）X射線光譜基本上不受化學鍵的影響，定量分析中的基體吸收和增強效應較易校正或克服，譜線簡單，互相干擾比較少，且易校正或排除。

X 射線熒光光譜法可用于冶金、地質、化工、機械、石油、建材等工業(yè)部門，以及物理、化學、生物、地學、環(huán)境科學、考古學等。還可用于測定涂層和金屬薄膜的厚度和組成以及動態(tài)分析等。

在常規(guī)分析和某些特殊分析方面，包括工業(yè)上的開環(huán)單機控制和閉環(huán)聯機控制，本法均能發(fā)揮重大作用。分析范圍包括原子序數Z≥3（鋰）的所有元素，常規(guī)分析一般用于Z≥9（氟）的元素。分析靈敏度隨儀器條件、分析對象和待測元素而異，新型儀器的檢出限一般可達10-5～10-6克／克；在比較有利的條件下，對許多元素也可以測到10-7～10-9克/克（或10-7～10-9克／厘米3）,而采用質子激發(fā)的方法，其靈敏度更高，檢出限有時可達10-12克／克（對Z＞15的元素）。至于常量元素的測定，X射線熒光分析法的迅速和準確,是許多其他儀器分析方法難與相比的。

隨著大功率 X射線管和同步輻射源的應用、各種高分辨率 X射線分光計的出現、計算機在數據處理方面的廣泛應用，以及固體物理和量子化學理論計算方法的進步,通過X射線光譜的精細結構（包括譜線的位移、寬度和形狀的變化等）來研究物質中原子的種類及基的本質、氧化數、配位數、化合價、離子電荷、電負性和化學鍵等，已經取得了許多其他手段難以取得的重要結構信息，在某些方面（例如配位數的測定等）甚至已經得到非常滿意的定量結果。這種研究方法具有不破壞樣品、本底低、適應范圍廣、操作簡便等優(yōu)點，不僅適用于晶體物質研究，而且對于無定形固體物質、溶液和非單原子氣體也可以發(fā)揮其*的作用，可以解決X 射線衍射法和其他光譜、波譜技術所不能解決的一些重要難題。